客戶服務

發生緊急情況我們全天候為您服務。

聯系表
全國網點
熱線電話
關 閉
科德 > 搜索

激光干涉儀

  • 01 激光干涉儀

    LM-20激光干涉儀以氦氖激光器產生的激光波長為基礎,應用高穩定度的激光穩頻率技術,獲得作為測量基準的高精度激光波長;同時使用高精度溫度、大氣壓力、濕度傳感器進行測量環境的補償;并通過與外部光學鏡組配合,實現高精度、可重復、可溯源的相關幾何參數精度測量,是數控機床和坐標測量機等精密設備校準的理想工具。LM-20激光干涉儀延續GDLM-10激光干涉儀的高精度測量性能,同時優化了機械結構和使用性能。
  • 02 測量的基本原理

    01.LM-20激光干涉儀的激光頭發射出光波,經過分光鏡后光波被分成兩束;
    02.固定角錐反射鏡和移動角錐反射鏡分別將光波反射回分光鏡;
    03.兩列相干光波相遇疊加,在疊加區域某些點的光振動始終加強,某些點的光振動始終減弱,即在干涉區域內振動強度有穩定的空間分布;
    04.最終在光靶上形成了明暗相間的干涉條紋,當兩束滿足干涉條件的光路徑發生相對變化時(即移動角錐反射鏡時),其干涉條紋也將發生變化,利用特殊的計數裝置對干涉條紋進行計數,就可以知道移動角錐反射鏡的位置變化量,從而實現對線性位移進行測量的目的。

  • 03 電主軸系列的命名規則

          高激光頻率穩定度
    激光穩頻標稱精度±0.05ppm,實際計量結果 0.02ppm,為激光干涉儀測量提供高精度基準。中國計量科學研究院是中國最權威的計量檢測機構,激光干涉的檢定數據均來自于中國計量科學研究院。
          精密的環境參數測量能力
    環境溫度測量標稱精度±0.1℃,實際計量結果-0.02℃-+0.06℃;材料溫度測量標稱精度±0.1℃,實際計量結果+0.01℃-+0.06℃;大氣壓力測量標稱精度±100Pa,實際計量結果+40-+66.7Pa;環境濕度測量精度±5%。為激光干涉儀的環境補償算法提供精準的環境參數變化。
          高測量精度
    線性定位測量標稱精度±0.5um/m(±0.5ppm),實際計量結果+0.08-+0.47um/m,高測量精度使激光干涉儀可以作為高精度的校準設備。
  • 04 產品特點1

    高測量速度;最高4m/s的測量速度,滿足幾乎所有的測量應用。
    快速啟動:約6分鐘的啟動預熱時間,便于測量現場的快速使用。
    長測量距離:長達20m的測量能力,滿足大多數的測量要求。
  • 05 產品特點2

    高測量分辨率:可選的測量分辨率,最高1nm。
    觸發式測量:適合在待測機器移動時記錄測量值,測量效率高。
    多種國際分析標準供選擇:方便用戶選擇自己需要的分析標準,進行多種分析。
  • 06 核心組件(激光頭)

    激光的穩頻,發射接收及相關后續處理;環境傳感器數據的接收,上位機軟件的交互。
  • 07 核心組件(環境傳感器)

    用于測量環境溫度,材料溫度,環境濕度及大氣壓力;測量得到的環境數據用于干涉儀的精密補償。
  • 08 核心組件(測量鏡組)

    1、線性鏡組:用于進行線性測量的光學套件;
    2、角度鏡組:用于進行角度及旋轉測量的光學套件。
  •  

    09 相關組件

參數

PARAMETER

LM-20激光干涉儀技術參數表
性能參數 光學參數
激光頻率穩定度    ±0.05ppm 激光功率               ≤1mw
線性定位精度        ±0.05um/m±0.05ppm) 激光對準范圍       ±2°
分辨率                   1nm最高 光斑直徑               6mm
測量速度                ≤4m/s 激光穩定時間       約6min
測量距離                ≤20m  


環境傳感器組件參數表
名稱 參數
環境傳感器組件         內部傳感器
1個空氣濕度傳感器     1個空氣壓力傳感器
                                 外部傳感器 1個空氣濕度傳感器     1-3個材料溫度傳感器
接口 專用線纜直接連接激光干涉儀
供電                激光干涉儀供電
精度參數及范圍 測量范圍 測量精度
環境溫度傳感器 0℃-50℃ ±0.1℃
材料溫度傳感器 0℃-50℃ ±0.1℃
大氣壓力傳感器 60KPa-120KPa ±100pa


附件參數表
規格 參數
便攜箱尺寸 便攜箱尺寸 559 x 351 x 229 mm
系統重量 12-18kg
三腳架折疊后尺寸 590mm
三腳架工作高度范圍 350-1650mm


線性測量
規格 公制 英制
線性測量長度范圍 20m 800 in
測量精度                        ±0.5um/m(±0.5ppm)
分辨率 0.001um 0.1uin


角度測量
規格 公制 英制
軸向量程
15 m
590 in
角度測量范圍
±175mm/m
±10°
精度
±0.002A±0.5±0.1M微弧度 ±0.0002A±0.5±0.1M微弧度
±0.002A±0.1±0.007F角秒 ±0.0002A±0.1±0.007F角秒
分辨率
0.1um/m
0.01角秒
溫度范圍:20℃±5℃
A=顯示的角度度數;M=以米來計的測量距離;F以英尺來計的測量距離


旋轉測量
規格 公制 英制
角度目標量程                           0-360°
測量精度 ±5um/m ±1角秒
軸最高轉速                           2rpm
方向                           任意

同類產品

SIMILAR PRODUCTS

际银配资