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激光尺

  • 01 LE系列激光尺

    LE系列激光尺采用激光干涉測量技術,以高穩定度的激光波長為基準,實現高精度、高分辨率的直線位移測量;
    LE系列激光尺采用先進的熱控制穩頻技術將激光穩頻精度保持在±0.05ppm。精確穩定的激光源和精準的環境補償,保證±0.5um/m的測量精度;
    LE系列激光尺可以實現長達20m的精確測量,在長距離測量應用上有突出的優勢;最高4m/s的測量速度,可滿足幾乎所有的測量應用;測量分辨率可配置,最高為1nm。
  • 02 應用案例及領域

    科德數控股份有限公司生產的KGHM2560U高速橋式龍門機床,X軸全行程6m,配置LE系列激光尺作為全閉環反饋,定位精度達到6um,重復定位精度達到3um;
    LE系列激光尺可用于精密機床、半導體精密加工設備、測量機等其他需要高精度直線位置反饋的應用場合。
 

參數

PARAMETER

項目 名稱 參數
性能參數 激光頻率穩定度
線性定位精度
分辨率
測量速度
測量距離
±0.05ppm
±0.5um/m(±0.5ppm)
最高1nm 可配置
4m/s
20m
工作條件 工作溫度
工作壓力
工作濕度
0℃~40℃
60KPa~120KPa
0%~95% 非冷凝
激光參數 激光波長
激光功率
激光穩定時間
出射光斑直徑
632.8nm
<1mw
≈10min
6mm
環境補償傳感器
環境溫度測量精度
大氣壓力測量精度
大氣濕度測量精度
材料溫度測量精度
±0.1℃
±100Pa
±5%
±0.1℃
電氣特性
電源電壓
電源電流
調試接口
位置數據反饋接口
通用I/O接口
24V±10%
2.0A 最大
USB
RS422/RS485   串行數據:BISS_C   增量數據:TTL增量方波、1Vpp弦波
24V帶隔離通用I/O點

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